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| ATmega64-16AU（详细资料） | TQFP64 | |
| ATmega64-16MU（详细资料） | MLF64 | |
| ATmega64L-8AU（详细资料） | TQFP64 | |
| ATmega64L-8MU（详细资料） | MLF64 |
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